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無油真空泵的工作原理及應用領域

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無油真空泵的工作原理及應用領域

發布日期:2020-03-26 作者: 點擊:

無油真空泵又名無油干式真空泵,屬于干式真空泵,(又簡稱干式機械泵)
    從上一次的全球峰會,到近日的國家兩會,走在提出:低碳、環保。節能的環保理念。油潤滑真空泵的使用會排出一定的二氧化碳和廢氣。在真空行業中,我們都建議使用干式泵

無油真空泵的工作原理及應用領域

    工作原理
    無油真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子,偏心地安裝在定缸內,當轉子高速旋轉時,轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室,由于離心力作用,旋片緊貼在缸壁,把定子進排出口分離開來,周而復始運轉,進行變容,將吸入氣體,從排氣口排出,從而達到抽氣目的。
    無油真空泵常見應用領域:
    1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
    2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
    3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
    4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
    5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

本文網址:http://www.scchyjd.com/news/509.html

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